Reinraumöfen bzw. -wärmeschränke sind speziell für den Einsatz in einer Reinraumumgebung konzipiert. Ein Reinraumofen verfügt über Funktionen zur Reduzierung der Partikelabgabe. Für die höchsten Reinraumklassen ist es oft besser, den Ofen außerhalb des Reinraums in der "Grauzone" zu installieren, um die Wartung zu erleichtern. Bei dieser Konfiguration wird der Ofen z.B. in der Reinraumwand installiert und Proben durch entsprechende Eingänge durchgeführt.

Es kann möglich sein, einige Standard-Laboröfen anstelle von Reinraumöfen zu verwenden. Die Reinraumklasse bestimmt, welcher Ofentyp verwendet werden kann. Für ISO 14644-1 Klasse 5 und Klasse 6 sind spezielle Reinraumöfen erhältlich. Diese sind mit Konstruktionsmerkmalen ausgestattet, die eine Freisetzung von Partikelkontamination verhindern, z. B. partikelfreie Silikon-Türdichtungen, vollständig abgedichtete Isolierung und vollständig geschlossene bürstenlose Lüftermotoren.

Die geltende ISO-Norm für Reinraumöfen ist ISO 14644-1. Sie legt eine Reihe von Luftreinheitsklassen in Bezug auf die Konzentration von Partikeln in einem bestimmten Volumen fest. Reinraumöfen sind so konstruiert, dass sie diese Reinheitsnorm erfüllen, und geben an, welche Reinraumklasse sie erfüllen. Reinraumöfen verfügen über Konstruktionsmerkmale, die eine Kontamination durch die Ablagerung von Partikeln verhindern. Das Innere aus rostfreiem Stahl und das weiß epoxidharzlackierte Äußere sind leicht zu reinigen.