クリーンルーム用オーブンは、クリーンルーム内で使用するために特別に設計されています。クリーンルーム用オーブンには、粒子の脱落を低減する機能が含まれています。最高レベルのクリーンルームクラスでは、メンテナンスを容易にするために、オーブンをクリーンルームの外の「グレーエリア」に設置する方がよい場合があります。この構成では、内部のチャンバーはクリーンルームの壁を通って「パススルー」のスタイルでアクセスされます。

クリーンルーム用オーブンの代わりに、一部の標準的な実験室用オーブンを使用することができる場合があります。クリーンルームのクラスによって、どのタイプのオーブンを使用するかが決まります。ISO 14644-1のクラス5およびクラス6では、専用のクリーンルーム用オーブンが使用できます。また、パーティクルフリーのシリコーンゴム製ドアシール、完全密閉型の断熱材、完全密閉型のブラシレスファンモーターなど、パーティクルの飛散による汚染を防止するための設計が施されています。

ISO 14644-1はクリーンルーム用オーブンに適用されます。ISO 14644-1は、一定容積中の粒子濃度の観点から、空気清浄度のクラスを規定しています。クリーンルーム・オーブンは、この清浄度規格に準拠して設計されており、どのクリーンルーム・クラスに準拠しているかが明記されています。クリーンルーム・オーブンは、粒子状物質の飛散による汚染を防ぐための設計がなされています。内装はステンレス、外装はホワイトエポキシ塗装で、清掃性に優れています。