Термошкафы для чистых помещений специально разработаны для работы в чистых помещениях. Термошкафы для чистых помещений включают в себя функции, снижающие образование пыли. Для самых высоких классов чистых помещений лучше устанавливать печь за пределами чистой комнаты в «серой зоне» для простоты обслуживания. В этой конфигурации доступ во внутреннюю камеру осуществляется через стену чистой комнаты в стиле «сквозной проход».

Использовать стандартные лабораторные термошкафы вместо термошкафов для чистых помещений возможно. Класс чистой комнаты будет определять, какой тип термошкафа можно использовать.

В соответствии с ISO 14644-1 для класса 5 и класса 6 доступны специальные термошкафы для чистых помещений. К ним относятся конструктивные особенности, предотвращающие загрязнение, вызванное осыпанием частиц, такие как дверные уплотнения из силикона, предотвращающие образование пыли, полностью герметичная изоляция и полностью закрытые бесщеточные двигатели вентиляторов.

ISO 14644-1 применяется к термошкафам для чистых помещений. Он определяет диапазон классов чистоты воздуха с точки зрения концентрации частиц в заданном объеме. Термошкафы для чистых помещений разработаны с учетом того, что они соответствуют этому стандарту чистоты, также указывается какому классу чистых помещений они соответствуют. В термошкафах для чистых помещений используются конструктивные особенности, предотвращающие загрязнение, вызванное образованием твердых частиц и пыли. Внутренняя поверхность из нержавеющей стали и внешняя поверхность, окрашенная белой эпоксидной смолой, легко чистятся.